WG-8500自动减薄机

WG-8500自动减薄机


多种可定制化的双工位减薄机

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技术特点:

● 可带框架磨削异形片,最大可对应 8 英寸的框架;粗磨精磨轨迹统一,提高加工质量稳定性;
● 双主轴三工位自动减薄机,粗磨精磨磨削同时进行,加工效率大幅度提高;可选配单测头式测量仪和双测头测量仪。

 

性能指标:

WG-8500自动减薄机
磨削方式 通过旋转晶圆,实现纵向切入式磨削
结构方式 1根主轴, 3个承片台,1回转工作台
磨削尺寸   mm Max.Ø200(Φ4″-Φ8″)
磨轮直径   mm Φ200
主轴 主轴数量 - 2
主轴功率 KW 4.2/5.5
主轴转速 rpm 1000-6000
Z轴行程 mm 120
Z轴分辨率 µm 0.1
承片台 装片方式 - 真空吸附
承片台类型 - 多孔陶瓷式(6/8寸兼容)
转速 rpm 0-300
承片台数量 3
减薄精度 片内厚度偏差 µm ≤3
片间厚度偏差 µm ≤±3
表面粗糙度斤 µm ≤3(#30000 wheel,SiC)
测量仪 测量范围 µm 0-1800(选配)
分辨率 µm 0.1(选配)
重复精度 µm ±0.5(选配)
设备 外形尺寸WxD×H mm 1200×1800×1950
设备重量 kg 约3300

 

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WG-8500自动减薄机

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